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光刻烤膠機(jī)采用什么技術(shù)工作的?

更新時(shí)間:2024-10-15      點(diǎn)擊次數(shù):474
  光刻烤膠機(jī)主要用于將光刻膠固定在硅片上,形成穩(wěn)定的電路結(jié)構(gòu)。它是通過(guò)精確控制烤膠的溫度和時(shí)間,確保光刻膠能夠均勻、穩(wěn)定地附著在硅片上,從而提高產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。該設(shè)備被廣泛應(yīng)用于集成電路制造、光電子器件制造、微納加工等領(lǐng)域。
  光刻烤膠機(jī)的核心技術(shù)主要體現(xiàn)在其準(zhǔn)確的光刻和烤膠工藝上。光刻工藝?yán)霉饣瘜W(xué)反應(yīng)將電路圖案精確地轉(zhuǎn)移到硅片上,而烤膠工藝則是將光刻膠固定在硅片上。光刻烤膠機(jī)通過(guò)高精度的光學(xué)系統(tǒng)和精密的機(jī)械結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了對(duì)光刻和烤膠過(guò)程的精確控制,從而保證了電路圖案的準(zhǔn)確性和一致性。
  博大精科提供的HTL-350光刻烤膠機(jī)(晶圓烤膠機(jī))板表面溫度均勻,溫度100℃以內(nèi),精度0.1~0.3°C,200℃以內(nèi),精度%0.5℃,可選帶有保溫蓋,整個(gè)加熱區(qū)形成一個(gè)保溫腔,大大提高溫度均勻度,也起到防塵作用??蛇x擇帶有負(fù)壓功能,表面帶有若干吸附孔,可使被加熱材料與加熱板表面緊密貼合,起到受熱均勻效果。
 

 

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